大型真空泵的特點：
簡單得說：功率大，極限真空高（負壓極高），有的甚至可以做到10負幾次方Pa，非常接近理論真空了。抽氣速率大，通常以“L/S”作為單位。工業(yè)上有非常廣泛的應用。
缺點：價格高昂、體積大、重量大、噪音高、能耗高、需要定期維護，不易移動等。有的大型真空泵必須使用真空泵油或潤滑油，工作中會產生油霧，對工作介質有污染……
以上缺點在某些場合特別明顯，如大型真空泵雖然真空度高，但在低真空場合反而浪費，像實驗室，只是需要泵對少量氣體進行抽氣、氣體采樣、氣體分析、氣體循環(huán)、真空吸附、氣體轉移、增壓、間接吸水、排水等時，用大型真空泵反而暴露出它的很多缺點。
這個時候用微型真空泵，粗真空(真空度較低)就可以滿足，而且體積小巧、噪音低、功耗小、易于操作、便于攜帶、免維護、可24小時連續(xù)運轉，還允許介質富含水汽。重要的是，因為是干式、無油的，不需要真空泵油或潤滑油，所以不會污染工作介質，不會干擾對介質的分析等等。而且價格相對便宜得多。